精密量測及檢測 > 膜厚儀 > FS-1多波長橢圓偏光儀
FS-1多波長橢圓偏光儀
 橢圓偏光儀系統通常是複雜的和昂貴的光學儀器。然而FS-1多波長橢圓偏光儀導入了新的技術來以提供成一個緊湊,堅固耐用,經濟實惠的偏光儀,能夠快速準確地測量厚度。

FS-1特點如下

(1)光源系統
FS-1使用了 可見光LED(藍色,綠色,黃色和紅色)用作光源。 LED是一個橢偏儀系統的理想光源。一般來說,使用LED光源較寬頻燈泡所發出的光譜帶寬來的ˊ窄,但是FS-1透過準確計算和自動校正功能以提供正確的數據分析過程。
另外LED使用壽命(> 50000小時)比寬頻燈泡來的長, 所以FS-1的LED光源須備被更換或次數遠低於寬頻燈泡
所以對客戶來說可以避免寬頻燈泡衰退時的誤差及減少更換後再校正

FS-1 Light Source

(2)探測模組
傳統DOAP (振幅旋光儀) 設計的一個缺點是測量精度會受到入射光束的對準偏差和均勻性受到影響。為了克服這個缺點。
FS-1檢測器使用最新的光學系統來消除對準偏差或測量光束的均勻性誤差。加上最新設計的不需要機械移動部件,所以量測的可以很快地獲得,並且也可以改善機械移動偏差及測量穩定性

FS-1 Detector

(3)框架
FS-1光源和檢測器單元被安裝在標準的量測框架上。這個框架可以在容納直徑200毫米 厚度23毫米的樣品,並且對應不同樣品表面還可以手動調節傳感器高度。
客戶可以依據需求加掛所需模組或將LED光源和檢測模組掛在客製化的框架。
FS-1 Tilt Stage

Copyright 2013© by LeadinWay Co.. Ltd. All Rights Reserved .
主要辦公處:台灣-新竹,台南市 中國大陸-上海,東莞
地址: 30268 新竹縣竹北市縣政五街46號|電話:+886-3-6560883|傳真: +886-3-6564486