PSM晶圓清潔製程濃度監測控制裝置

PSM 優點:
問題   PSM解決方案 益處
化學品濃度超出製程範圍而無警示信號 PSM可協助監測化學品濃度並適時給予警示信號 維護製程高良率與低損耗
化學液補充未能最佳化而浪費多餘藥液 PSM 以預設方式控制補充化學品劑量,維持製程過程中之濃度穩定 節約化學品用量
晶圓在製程EMG後取出槽體流程,因晶圓殘留藥液造成產品報廢 PSM 可在EMG晶圓取出流程中,提供安全清洗槽體動作以保護晶圓產品安全 在機台意外當機中止時保護晶圓產品安全
晶圓在乾燥製程中未確實完成乾燥動作亦無警示信號,導致於產品失敗 PSM可提供乾燥過程之監控功 確保晶圓安全
設備濃度控制零件故障時需費時找尋根本原因 PSM可協助提供零件故障警示的協助功能 維護晶圓安全與設備維護成本
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