BT1/TT1 基板電漿蝕刻機

 

概述

你會發現BT-1加工處理您的產品,無論是大或小塑料零件、醫療植入物、晶片或電子元件,都可以均勻處理。它給你帶來的好處是提供更好附著力,更少的清潔人力和減少甚至省略昂貴的清理化學品及其廢液。

優點

  • 客制尺寸的水平電極,RIE(反應離子蝕刻)和導線架載具,水平和垂直旋轉電極
  • 大型全鋁合金腔體可搭配標準五層加工貨架可提供2100平方英寸的電漿處理區域
  • 提供氧真空泵。真空泵氮氣清潔系統以減少鹵素氣體腐蝕進而延長使用壽命及減少維修次數及延長週期

系統特點

  • 焊接鋁製腔體測量25"寬X 25"X 21"
  • 5層加工電極2021", 間隔 3"
  • 600瓦射頻產生器@13.56MHz自動匹配網路
  • 500 SCCM流量控制器
  • 真空計0-1 Torr
  • 微處理器系統搭配觸控螢幕界面 可儲存高達20個2 step sequence
  • 29 CFM氧真空泵
  • 3微米真空泵油過濾

選購配件

  • 靜電屏蔽
  • 製程溫度控制
  • 1250@13.56MHz 射頻產生器搭配自動匹配網絡
  • 59 CFM氧真空泵
  • 355 CFM真空泵增壓機
  • RIE(反應離子蝕刻)電極
  • 氣體低壓警報
  • 微軟系统的電腦控制,直觀操作界面搭配觸控螢幕操作
  • 數據回報,事件監控
信号燈塔,真空控制器,四個流量控制器

  • 自動2點氮氣真空泵清潔,控制氮氣清洗速度
  • 真空泵排氣油霧氣凝式過濾器
  • 客制化真空室和电極

 

應用

表面清潔活化處理


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