PE25 Plasma Etch Model



概述

經濟實惠的價格,美國Plasma Etch公司的PE25-JW是一種高品質電漿清洗機可以產生均勻的、高再現性的結果。友好的使用者界面具有自動排序能力,和所有事件定時設計(抽氣,電漿化,氣體穩定和排氣),可以很容易自動程序編輯。操作人員可以利用PLC鍵盤輸入,完成的製程配方可以儲存在機器中。

優點

  • 直接接觸射頻電容平行板電極用於產生均勻的電漿。
  • 搭配PLC控制器 自動化的電漿清洗機。

系統特點

  • 5" × 8"深鋁製焊接真空室
  • 單一3.5" × 7" 水平電極
  • 150@50KHz射頻產生器(可添購400瓦電源供應器)
  • 精密針形閥流量控制0-25毫升/分鐘
  • 熱電偶真空計 0-1Torr
  • 自動化PLC微處理器
  • 外形尺寸:14"x14.5"x18"
  • 運輸重量約52

應用

  • 電漿殺菌
  • 表面處理

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