PE200 Plasma Etch Model




概述

PE-200是我們的工業級系統並提供氧真空泵。這台功能強大,可靠,價格實惠,專為連續生產的開發系統。可以不需停機。用電漿處理進行表面處理可提高清潔均勻性,並減少或免除不必要的昂貴的化學品及廢液。通過簡單易用的觸控操作界面,並提供安全可重複的流程。

優點

  • 客制尺寸的水平電極,RIE(反應離子刻蝕)和半導體導線架載具。
  • 焊鋁真空室 製程區域面積約500平方英寸

系統特點

  • 焊鋁真空室:17" X 17" X 14"
  • 3層水平加工電極:13" X 16"深 間距: 3"
  • 300瓦射頻產生器@13.56MHz搭配自動匹配網絡
  • 200 SCCM流量控制器
  • 真空計
  • 微電腦控制系統搭配觸控螢幕可以儲存20個兩步驟配方 
  • 29 CFM O2真空泵 (選配3微米真空泵油過濾器)

選配

  • 靜電屏蔽
  • 製程溫度控制
  • 600瓦射頻產生器@13.56MHz 搭配自動匹配網絡
  • 59 CFM氧真空泵(3相)搭配自動氮氣清洗系統維持真空泵壽命
  • Signal Tower
  • MKS自動停止真空控制器
  • 2個額外的流量控制器
  • 軟體設定5種氣體輸入
  • 腔體氮氣清除率控制器
  • 真空泵排氣油霧凝聚過濾器
  • 客制化腔體尺寸和配置
  • 客制化電極的大小和配置
  • RIE(反應離子蝕刻)電極配置

應用

  • 電漿殺菌
  • 表面處理
Copyright 2013© by LeadinWay Co.. Ltd. All Rights Reserved .
主要辦公處:台灣-新竹,台南市 中國大陸-上海,東莞
地址: 30268 新竹縣竹北市縣政五街46號|電話:+886-3-6560883|傳真: +886-3-6564486