品名

螢光X射線鍍層厚度測量儀

型號

FT110

概要

使用新式影像對焦系統可在幾秒內完成自動對焦的動作 因不需手動調整焦距, 故可大幅改善量測上的產出量

特點

 

1.      通過自動定位功能提高操作性 :

測量樣品時,以往需花費約10秒的樣品對焦,現在3秒內即可完成,大大提高樣品定位的操作性。

2.      膜厚測量精度提高 :

通過縮小與樣品間的距離等,致使在微小準直器(0.1mm0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。

3.      多達5層的多鍍層測量 :

使用薄膜FP法軟體,即使沒有厚度標準片也可進行多達510元素的多鍍層測量。

4.      廣域觀察系統 (選配):

可從最大250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。

5.      對應大型印刷線路板的移動平台 (選配) :

可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量。

6.      低價位 :

與以往機型相比,既提高了功能性又降低20%以上的價格。


規格書

機型

FT110

量測元素範圍

原子序 22() to 83 ()

X光管

小型氣冷式X光管

管電壓 : 50KV

管電流 : 1mA

偵測器

正比例計數管

準直器

圓形: 0.1mm, 0.2mm

影像觀察

CCD 攝像頭 (固定倍率)

樣品對焦裝置

雷射對焦

濾波器

第一段濾波器

工作平台

移動範圍

260(W) * 210(D)mm

250(X) * 200(Y) * 150(Z)mm

控制裝置

商用桌上型電腦, 19LCD螢幕

軟體應用

薄膜FP (最多5, 每層10種不同元素)

薄膜檢量線

資料處理

Microsoft Excel, Word

安全保護裝置

防撞擊保護機械裝置

自我診斷功能

安全斷電裝置(量測中開啟上蓋, 自動關閉X-ray電源)

選配

Mapping軟體
塊體FP (金屬成分分析)
塊體檢量線(鍍液濃度分析)

準直器: 0.05mm, 0.025*0.4mm

濾波器: Co

影像自動對焦裝置

廣域影像觀察系統

大型移動平台


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