品名

螢光X射線鍍層厚度測量儀

型號

FT9300 series

概要

為高功率 / 高效能的膜厚儀,搭載 75W高功率X光管及結合了微小準直器、四段光學變焦系統,伺服馬達驅動樣品台、雷射對焦及影像處理系統等,尤其適用於高精密電子產業。

特點

 

1.      搭載75W高功率X光管。

2.      搭載標準的直徑50um微小準直器(最小15um)。

3.      搭載能四段切換的可變倍率光學系統,可對微小區域進行觀察。光學系統上的焦點切換功能,能夠對有高度的樣品進行底部厚度測定。

4.      加強照明功能,容易對以前觀察困難的樣品進行觀察。

5.      搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的感測器。

6.      使用伺服馬達做精確的平台驅動。

7.      運用雷射聚焦功能做樣品表面高度的位置調整。


規格書

機型

FT9300

量測元素範圍

原子序 22() to 83 ()

原子序21以下元素可使用吸收法來做厚度測定

X光管

小型氣冷式高功率X光管

管電壓 : 50KV

管電流 : 1.5mA

偵測器

正比例計數管

準直器

圓形: 0.05, 0.1, 0.2mm

矩形: 0.025x0.2, 0.2x0.025mm

影像觀察

CCD 攝像頭及四段切換的可變倍率光學系統

樣品對焦裝置

雷射對焦

濾波器

第一段濾波器: Mo, 第二段濾波器: Co

工作平台

移動範圍

240(W) * 170(D)mm

220(X) * 150(Y) * 150(Z)mm

控制裝置

商用桌上型電腦, 19 LCD螢幕

軟體應用

薄膜FP (最多 5, 每層10種不同元素)

薄膜檢量線

塊體FP (金屬成分分析)

資料處理

Microsoft Excel, Word

安全保護裝置

防撞擊保護機械裝置

自我診斷功能

量測中自動上鎖裝置

安全斷電裝置(量測中開啟上蓋, 自動關閉X-ray電源)

選配

Mapping軟體
塊體檢量線(鍍液濃度分析)

能譜matching軟體

準直器: 圓形0.015mm, 0.025mm


Copyright 2013© by LeadinWay Co.. Ltd. All Rights Reserved .
主要辦公處:台灣-新竹,台南市 中國大陸-上海,東莞
地址: 30268 新竹縣竹北市縣政五街46號|電話:+886-3-6560883|傳真: +886-3-6564486