品名

螢光X射線鍍層厚度測量儀

型號

FT9400 series

概要

為高功率/高效能的機種, 它配置75W高功率X光管及雙檢測器(半導體檢測器及正比例計數管) 符合所有鍍層厚度量測上的需求。 包含薄膜、合金層及普通顯微鏡看不出的厚度量測。 另外 FT9400可以使用於異物的定性分析,如同鍍層量測一樣容易。

特點

 

1.      雙檢測器 ( 半導體檢測器 / 正比例計數管 ) ,因半導體檢測器擁有高分辨率,可區分鄰近的元素如鎳及銅 ( 一般以需以 Co 濾波器分離 ) ,尤其於 PCB 的鍍層量測應用中可簡單分辨金及溴元素,不再因溴的干擾而影響金的量測準確性,可測量小於 0.01um 的薄金鍍層。

2.      搭載75W高功率X光管。

3.      搭載標準的直徑50um微小準直器(最小15um)。

4.      搭載能四段切換的可變倍率光學系統,可對微小區域進行觀察。光學系統上的焦點切換功能,能夠對有高度的樣品進行底部厚度測定。

5.      加強照明功能,容易對以前觀察困難的樣品進行觀察。

6.      搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的感測器。

7.      使用伺服馬達做精確的平台驅動。

8.      運用雷射聚焦功能做樣品表面高度的位置調整。


規格書

機型

FT9400

量測元素範圍

原子序 22() to 83 ()

原子序21以下元素可使用吸收法來做厚度測定

X光管

小型氣冷式高功率X光管

管電壓 : 50KV

管電流 : 1.5mA

偵測器

正比例計數管

PIN半導體偵測器 (不需使用液態氮冷卻)

準直器

圓形: 0.015, 0.05, 0.1, 0.2mm

影像觀察

CCD 攝像頭及四段切換的可變倍率光學系統

樣品對焦裝置

雷射對焦

濾波器

第一段濾波器: Mo

工作平台

移動範圍

240(W) * 170(D)mm

220(X) * 150(Y) * 150(Z)mm

控制裝置

商用桌上型電腦, 19 LCD螢幕

應用軟體

薄膜FP (最多 5, 每層10種不同元素)

薄膜檢量線

塊體FP (金屬成分分析)

資料處理

Microsoft Excel, Word

安全保護裝置

防撞擊保護機械裝置

自我診斷功能

量測中自動上鎖裝置

安全斷電裝置(量測中開啟上蓋, 自動關閉X-ray電源)

選配

Mapping軟體
塊體檢量線(鍍液濃度分析)

能譜matching軟體


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