品名

螢光X射線鍍層厚度測量儀

型號

FT9500X series

概要

  FT9500X系列使用最新開發的X-ray聚焦系統,使高強度的X光束聚焦在直徑30um的範圍內。

FT9500X系列在導線架,連接器和軟性電路板的量測有更好的精度及準度。傳統的測厚儀由於照射強度較低,致使在量測上無法有快速且精確的測量。

特點

 

1.      薄膜和多層薄膜的厚度測量

FT9500X系列配備新的聚焦照射範圍能縮小到直徑30微米,但仍有相當於FT9500(量測範圍直徑80微米)的強度。

FT9500X系列能同時測量多層,並且各層都能維持在高測量精度,例如: 量測Au/Pd/Ni/Cu的厚度。

2.      污染物分析

高強度的光束與具有高檢出率的偵測器相結合,所以能做污染物的定性分析。 CCD放大影像後確認污染物的位置進行量測,透過能譜的差異進行比對,可針對元素(原子序AlU)之間的元素做出定性分析。

3.      搭載能四段切換的可變倍率光學系統,可對微小區域進行觀察。光學系統上的焦點切換功能,能夠對有高度的樣品進行底部厚度測定。

4.      加強照明功能,容易對以前觀察困難的樣品進行觀察。

5.      使用伺服馬達做精確的平台驅動。

6.      運用雷射聚焦功能做樣品表面高度的位置調整。


規格書

機型

FT9500X

量測元素範圍

原子序 22() to 83 ()

X光管

小型氣冷式X光管(鉬靶)

管電壓 : 50KV

管電流 : 1mA

偵測器

Vortex半導體偵測器 (不需使用液態氮冷卻)

X光聚焦系統

X光聚焦範圍

Poly Capillary

直徑30um

影像觀察

CCD 攝像頭及四段切換的可變倍率光學系統

樣品對焦裝置

雷射對焦

濾波器

量測超薄金專用濾波器

工作平台

移動範圍

240(W) * 170(D)mm

220(X) * 150(Y) * 150(Z)mm

控制裝置

商用桌上型電腦, 19 LCD螢幕

軟體應用

薄膜FP (最多 5, 每層10種不同元素)

薄膜檢量線

塊體FP (金屬成分分析)

資料處理

Microsoft Excel, Word

安全保護裝置

自我診斷功能

量測中自動上鎖裝置

安全斷電裝置(量測中開啟上蓋, 自動關閉X-ray電源)

選配

Mapping軟體
塊體檢量線(鍍液濃度分析)

能譜matching軟體


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