PE50 Plasma Etch Model

 

概述

PE-50是美商Plasma Etch Inc. 入門級的電漿系統,提供了許多目前市面上其他電漿系統所沒有功能。這個系統主要是給小量生產,研發單位和學術界。該系統的特點是寬6" X7" X4"的矩形防爆鋁合金焊接真空室和一個直接式供電的射頻電極

優點

  • 直接接觸射頻電容平行板電極用於產生均勻的電漿。
  • 搭配PLC控制器 自動化的電漿清洗機。

系統特點

  • 焊接鋁合金真空室,寬6"7"4"
  • 單一4.5" × 6"水平電極
  • 150@50KHz射頻產生器 (可選購400瓦電源供應器)
  • 精密針形閥流量控制0-25毫升/分鐘
  • Pirani真空計0-1Torr
  • 5 CFM氧氣服務真空泵
  • 可儲存單一製程序列

應用

  • 電漿殺菌
  • 表面處理
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