Barracuda Series
   
 

SASIC針對光罩製程發展了不含硫酸鹽的光阻去除液。以往光罩的光阻去除液是以高溫濃硫酸混合液反應,因為硫酸銨結晶形成霧狀薄膜,會造成光罩表面嚴重的透光率缺陷。Barracuda1不會造成上述問題。

在高溫濃硫酸環境下,光罩玻璃表面會因為硫酸銨結晶作用而形成一層霧狀薄膜。目前的解決方式是以在SC1製程後,以去離子水反覆做數次清洗去除光罩表面的硫酸鹽離子。但這種方式往往費時又不是有效率的方式。

SASIC Barracuda可有效解決光罩清洗上的這些問題。Barracuda在室溫下即可作用,也不會對無塵室造成污染的問題。相信去除硫酸鹽與銨根離子是控制光罩產生霧狀薄膜的關鍵因子。此意味著使用Barracuda將可有效降低光罩的透光缺陷率。

   
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