半導體及封裝
Forge Nano ALD (粉末鍍膜)
Forge Nano 是使用原子層沉積的表面工程和精密納米塗層技術的全球領導者。
Forge Nano 的專有技術和製造工藝使angstrom厚塗層快速、經濟實惠且具有商業可行性，適用於各種材料、應用和行業。
Forge Nano的 ALD鍍膜設備有提供Rotary & 流化床式的ALD設備，並且可應用『粉體』、『物件』等的ALD精準鍍膜。
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Fastmicro 微塵量測設備
Fastmicro：微塵表面顆粒測量
Fastmicro 在歷經 15 年基於與研究機構 TNO 共同開發的技術的研發後，於 2019 年在荷蘭 Geldrop 成立
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HHT 光罩修補設備
聚焦離子束光罩修補機主要是為半導體或LCD曝光用光罩，其中之缺陷圖形進行修補所開發出來的精密設備。此修補機可以針對各類型光罩（Binary Mask and Phase Shift Mask）上的細微與複雜圖形缺陷進行高精確度的修補。
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