半導體及封裝
Fastmicro 微塵量測設備
Fastmicro：微塵表面顆粒測量
Fastmicro 在歷經 15 年基於與研究機構 TNO 共同開發的技術的研發後，於 2019 年在荷蘭 Geldrop 成立
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HHT 光罩修補設備
聚焦離子束光罩修補機主要是為半導體或LCD曝光用光罩，其中之缺陷圖形進行修補所開發出來的精密設備。此修補機可以針對各類型光罩（Binary Mask and Phase Shift Mask）上的細微與複雜圖形缺陷進行高精確度的修補。
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Levitech 快速昇溫製程 RTP
與您並肩前行，我們不斷挑戰快速熱處理技術的極限。Levitech 憑藉獨特的設計理念，以高效的傳導式加熱翻轉傳統的輻射加熱模式。不僅能大幅提升加熱效率，更能為您的製程提供更精準的熱預算控管，成就卓越品質
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