規格

● 系統:
1. 提供整個槽體或是只有振盪板
2. 可對 OEM 量身訂製
3. 先進的類比控制或網路控制
4. 客戶個別程式管理
5. 連續式或脈衝式
6. 製成運作參數之資料導入

● 振盪板:
1. 單一振盪器用多種頻率
2. 同時或連續操作
3. 1-4KW RF 電源
4. 多重 RF 電源供應控制
5. 可提供Bolt-Up 配件
6. 操作溫度至 60° C
7. ProSys MultiPulse 系列電子套件介面