用於直接測量產品表面的產品掃描儀: Fastmicro Product Scanner
 
Fastmicro Product Scanner直接測量產品表面的污染程度(例如Pellicles 薄膜(雙面)、Reticles 掩模版、空白晶圓、晶圓背面、顯示器和其他產品)。Product Scanner可以根據您的需求進行定制,具體取決於您需要測量的表面的形狀和位置。我們的掃描儀模塊也可用作系統集成商的白標解決方案。
 
Fastmicro Product Scanner旨在直接測量任何行業產品表面的表面顆粒污染水平。主要應用在半導體(薄膜、掩模版、晶圓)和顯示器市場。由於其模塊化和可擴展的設計,掃描儀具有無限的掃描區域。該系統可以根據需要測試的表面的形狀和位置進行定制。掃描儀模塊也可用作系統集成商的白標解決方案。
 
模塊化:適合各種生產過程
 
模塊化 Fastmicro Product Scanner可以客制以適應每個生產認證過程或適合生產線。這可以包括清潔和自動化處理:用於檢查和清潔的包裝開啟器、加油站、機器人手臂、檢查點和清潔端口。
 
Fastmicro 模塊允許按比例縮放檢測表面以滿足客戶需求,而無需引入額外的成像時間和使用有限的佔地面積。