品名:   聚焦離子束光罩修補設備
     
型號:   SIR5000 Mask Repair Tool
     
概要:   利用聚焦離子束對半導體用光罩或者線路上的缺陷部分進行修復的裝置。對Binary 和Half tone mask上的微小缺陷以及複雜形狀的缺陷進行高精度和低損傷的修復。
     
特點:   1. 採用新型的離子束光學系統,實現了離子束更精細化的聚焦。與現有的機型相比,可以執行更細微缺陷部分的觀察和修補。

2. 修補精確度達到15nm(3&Sigma),可以做到高精準度的修正。

3. 採用Windows®2000作業系統,新開發的圖型使用者界面GUI環境。

4. 增加了二次離子像,可補正對二次電子像的觀察及修正。.

     
規格
     
型號:   SIR5000
     
對應光罩尺寸:   最大7.25英寸
     
離子源:   Ga液態金屬離子源
     
加速電壓:   最大30kV
     
修正精確度誤差:   15nm(3&sigma)
     
觀察、修正使用的圖像:   二次離子像
二次電子像
     
可修補最小線寬:   360nm
     
Copyright 2013© by LeadinWay Co.. Ltd. All Rights Reserved .
主要辦公處:台灣-新竹,台南市 中國大陸-上海,東莞
地址: 30268 新竹縣竹北市縣政五街46號|電話:+886-3-6560883|傳真: +886-3-6564486