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晶圓傳輸與機械動作震動監控系統


晶圓傳輸與機械動作震動監控系統主要是利用高靈敏度Vibration Sensor 

找出機台機械動作異常的位置來進行保養與維修,並定期監控來預防機台 

因為機械動作異常所產生的Troubleshooting。常見的應用如下 :

 

-機台因為異常的機械動作所產生的Troubleshooting  
  
-機台PM前後機械動作的確認    

-建立所有機台的Baseline  
 
-新機台機械動作的確認

-機台機械動作的改善




 

第二個 On line vibration monitor system 即時震動監控系統 

利用超高靈敏度的震動sensor搭配監控的分析軟體可以即時監控偵測所有震動訊號,一旦震動訊號振福超過所設定的警戒數值,系統則會立刻發出警示。常應用於Dry/Turbo Pump的監控,通常可以提早一~二個月警示Dry/Turbo Pump已經出現異常,讓設備負責人可以預先安排更換Dry/Turbo Pump。


 * Turbo pump / Dry turbo pump

 

 

 


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