晶圓傳輸與機械動作震動監控系統
晶圓傳輸與機械動作震動監控系統主要是利用高靈敏度Vibration Sensor
找出機台機械動作異常的位置來進行保養與維修，並定期監控來預防機台
因為機械動作異常所產生的Troubleshooting。常見的應用如下 :
-機台因為異常的機械動作所產生的Troubleshooting
-機台PM前後機械動作的確認
-建立所有機台的Baseline
-新機台機械動作的確認
-機台機械動作的改善
-機台機械動作的改善
第二個 On line vibration monitor system 即時震動監控系統
利用超高靈敏度的震動sensor搭配監控的分析軟體可以即時監控偵測所有震動訊號，一旦震動訊號振福超過所設定的警戒數值，系統則會立刻發出警示。常應用於Dry/Turbo Pump的監控，通常可以提早一~二個月警示Dry/Turbo Pump已經出現異常，讓設備負責人可以預先安排更換Dry/Turbo Pump。
* Turbo pump / Dry turbo pump