HHT 光罩修補設備
Hitachi MR 光罩修補設備
型號:
MR聚焦離子束光罩修補機主要是為半導體或LCD曝光用光罩，其中之缺陷圖形進行修補所開發出來的精密設備。此修補機可以針對各類型光罩（Binary Mask and Phase Shift Mask）上的細微與複雜圖形缺陷進行高精確度的修補。
MR5 光罩修補機
MR5 主要可以針對半導體光罩上的多種形式缺陷進行修補的高階光罩修補設備。它可以對傳統光罩與相位移光罩上許多微小形式的缺陷，作高準確度的修補並得到良好的修補效果。
MR5 光罩修補機
MR5 主要可以針對半導體光罩上的多種形式缺陷進行修補的高階光罩修補設備。它可以對傳統光罩與相位移光罩上許多微小形式的缺陷，作高準確度的修補並得到良好的修補效果。
利用聚焦離子束對半導體用光罩線路上的缺陷部分進行修復的裝置，其特點如下：
1. 採用新型的離子束光學系統，可以執行更細微缺陷部分的觀察和修補。
2. 修補精確度達到15nm（3 Sigma），可以做到高精準度的修正。
3. 新的離子束控制功能，相對於舊機型可以提升超過30%的產能。
4. 全新設計的電子控制系統讓機台更加穩定。