優點

直接接觸射頻電容平行板電極用於產生均勻的電漿。
搭配PLC控制器 自動化的電漿清洗機。
系統特點

5" × 8"深鋁製焊接真空室
單一3.5" × 7" 水平電極
150瓦@50KHz射頻產生器(可添購400瓦電源供應器)
精密針形閥流量控制0-25毫升/分鐘
熱電偶真空計 0-1Torr
自動化PLC微處理器
外形尺寸:14"寬x14.5"深x18"高
運輸重量約52磅
應用

電漿殺菌
表面處理