優點

降低生產成本兼顧環保
避免HF產生，以減少管路及PUMP酸化腐蝕及清潔保養時間
搭配專利的電極設計，更快的蝕刻效率
專利旋轉板設計， 降低片與片之間差異，提升製程均勻度
機台可搭配氧氣產生器， 不須外接鋼瓶
系統特點

專利的8片19" X 28" 旋轉板
先進的設計 無需使用CF4氣體
GXS160/1750Boc Edwards 乾式真空泵
2500瓦的射頻產生器
2個0-500毫升/分鐘氣體通道及氣體流量控制器
電腦控制搭配觸控螢幕
低氣體壓力報警器
真空控制及真空計0-10Torr
信號燈塔
自動氧氣產生器不需要外接氧氣瓶
應用

PCB電漿蝕刻除膠渣和回蝕