PE 電漿清潔蝕刻設備
PE200 Plasma Etch Model
型號:
PE-200是我們的工業級系統並提供氧真空泵。這台功能強大，可靠，價格實惠，專為連續生產的開發系統。可以不需停機。用電漿處理進行表面處理可提高清潔均勻性，並減少或免除不必要的昂貴的化學品及廢液。通過簡單易用的觸控操作界面，並提供安全可重複的流程。
優點
客制尺寸的水平電極，RIE（反應離子刻蝕）和半導體導線架載具。
焊鋁真空室 ，製程區域面積約500平方英寸
系統特點
焊鋁真空室:17"寬 X 17"深 X 14"高
3層水平加工電極:13"寬 X 16"深 間距: 3"
300瓦射頻產生器@13.56MHz搭配自動匹配網絡
200 SCCM流量控制器
真空計
微電腦控制系統搭配觸控螢幕可以儲存20個兩步驟配方
29 CFM O2真空泵 (選配3微米真空泵油過濾器)
選配
靜電屏蔽
製程溫度控制
600瓦射頻產生器@13.56MHz 搭配自動匹配網絡
59 CFM氧真空泵（3相）搭配自動氮氣清洗系統維持真空泵壽命
Signal Tower
MKS自動停止真空控制器
2個額外的流量控制器
軟體設定5種氣體輸入
腔體氮氣清除率控制器
真空泵排氣油霧凝聚過濾器
客制化腔體尺寸和配置
客制化電極的大小和配置
RIE(反應離子蝕刻)電極配置
應用
電漿殺菌
表面處理
客制尺寸的水平電極，RIE（反應離子刻蝕）和半導體導線架載具。
焊鋁真空室 ，製程區域面積約500平方英寸
系統特點
焊鋁真空室:17"寬 X 17"深 X 14"高
3層水平加工電極:13"寬 X 16"深 間距: 3"
300瓦射頻產生器@13.56MHz搭配自動匹配網絡
200 SCCM流量控制器
真空計
微電腦控制系統搭配觸控螢幕可以儲存20個兩步驟配方
29 CFM O2真空泵 (選配3微米真空泵油過濾器)
選配
靜電屏蔽
製程溫度控制
600瓦射頻產生器@13.56MHz 搭配自動匹配網絡
59 CFM氧真空泵（3相）搭配自動氮氣清洗系統維持真空泵壽命
Signal Tower
MKS自動停止真空控制器
2個額外的流量控制器
軟體設定5種氣體輸入
腔體氮氣清除率控制器
真空泵排氣油霧凝聚過濾器
客制化腔體尺寸和配置
客制化電極的大小和配置
RIE(反應離子蝕刻)電極配置
應用
電漿殺菌
表面處理