優點

我們的標準真空泵特別適用於氧氣處理。它配備了一個氮氣清潔系統，防止任何腐蝕發生進而延長了使用壽命進而降低了維護週期。PE-2000R在處理無論是不同尺寸或不同材料 如聚四氟乙烯，聚酰胺的電路板，你會發現，都會有均勻蝕刻及良好清潔結果可以進入下一道製程。觸控螢幕搭配簡易直觀使用界面可以控制電漿製程每個細節以確保製程可靠性和可重複性。PE-2000R卷到卷電漿系統可用於一般材料的電漿捲軸，傳輸系統並有制動控制，張力控制和速度控制等功能。二個電腦作業系統進行等電漿控制及操作及控制傳輸參數。該系統佔地面積將依據不同配置而有所不同。

系統特點

水平RIE（反應離子蝕刻）電極
水平72"平面電極
3000瓦射頻產生器搭配自動匹配網絡
專利的製程溫度控制125°F到300°F
2通道0-2000毫升/分鐘流量控制器
4個通道低氣壓報警
真空計
微系統控制搭配觸控螢幕控制/可儲存多個序列設定
59 CFM氧真空泵
355 CFM真空泵增壓風機
真空泵3微米油過濾器
真空泵自動氮氣清潔 可控制氮氣清潔速度
油霧消除器
開環張力控制馬達與粒子離合器
閉環速度控制磁流真空饋通
手動設定或自動控制 長度，速度，張力
選購配件

電腦控制系統搭配觸控螢幕 數據報告，事件查看，列印
Signal Tower
79/355 CFM乾式真空泵
風門真空控制器
4個通道流量控制器
客制化腔體和電極
應用

表面處理