優點

直接接觸射頻電容平行板電極用於產生均勻的電漿。
搭配PLC控制器 自動化的電漿清洗機。
系統特點

持久耐用的鋁製真空室
内部尺寸約12"直徑 X 11"深
單一9"寬 X 10"長 水平直接式接觸式電極
5.5"(最低)真空室淨高
400瓦,50KHz連續可變射射頻電源
2個浮子流量计,2個氣體控制器0-25cc/min
精密針閥熱電偶真空計0-1Torr
PLC微電腦控制系统
控制台外形尺寸:18"寬 X 19" 長 X 24"高
5 CFM 2階段直接傳動氧真空油泵
可儲存單一製程序列
應用

電漿殺菌
表面處理