優點

客制尺寸的水平電極,RIE(反應離子蝕刻)和導線架載具,水平和垂直旋轉電極
大型全鋁合金腔體可搭配標準五層加工貨架可提供2100平方英寸的電漿處理區域
提供氧真空泵。真空泵氮氣清潔系統以減少鹵素氣體腐蝕進而延長使用壽命及減少維修次數及延長週期
系統特點

焊接鋁製腔體測量25"寬X 25"長X 21"高
5層加工電極20"×21", 間隔 3"
600瓦射頻產生器@13.56MHz自動匹配網路
500 SCCM流量控制器
真空計0-1 Torr
微處理器系統搭配觸控螢幕界面 可儲存高達20個2 step sequence
29 CFM氧真空泵
3微米真空泵油過濾
選購配件

靜電屏蔽
製程溫度控制
1250瓦@13.56MHz 射頻產生器搭配自動匹配網絡
59 CFM氧真空泵
355 CFM真空泵增壓機
RIE(反應離子蝕刻)電極
氣體低壓警報
微軟系统的電腦控制,直觀操作界面搭配觸控螢幕操作
數據回報,事件監控
信号燈塔,真空控制器,四個流量控制器自動2點氮氣真空泵清潔,控制氮氣清洗速度
真空泵排氣油霧氣凝式過濾器
客制化真空室和电極


應用

表面清潔活化處理