一致性製程中量測 (設備表面潔淨度量測、零件表面潔淨度量測、光罩盒潔淨度量測、光罩相關潔淨度量測、LCD面板潔淨度量測)

快速: 數秒內成像
定量: 測量&分析報告
容易操作: 可獨立作業
  • 可應用於製程中的”品質管制”量測
  • 可提供R&D時的”分析”量測
  • “監控”: 持續量測觀察 & SPC。
 
準確: 高分辨率量測 (數量、位置、尺寸)
一貫性結果: 客觀的量測結果、始終如一
快速量測: 一分鐘內能呈現量測結果。
 
Fastmicro Product Scanner 開發用於使用採樣器間接測量被測物的表面顆粒潔淨水平。 採樣器允許用戶在產品或組件上採集顆粒樣本,然後在掃描儀上進行樣本測量,整體量測可於數分鐘內完成。
 
Product Scanner 透過採樣墊間接測量表面顆粒污染水平。使用者能夠隨時對各種產品和組件採集顆粒污染樣本,從而得到準確地量測數值。 它甚至可以在難以到達的地方和相對粗糙的表面上進行間接測量。 採樣器從被測物的表面收集顆粒(Particle),且不會留下殘留物。
  樣品掃描儀可在幾秒鐘內測量樣品,並且顯示 225 mm² 的測量區域。
*採樣墊可以裝在乾淨的採樣盒中運輸,可作為重新量測或進一步分析使用。



操作流程: