Fastmicro Sample Scanner
表面潔淨度取樣掃描器｜數秒完成粒子量測
表面潔淨度驗證（Surface Cleanliness Verification）
快速量測・量化管理・現場即用 核心價值（Key Benefits）
Fast｜快速

• 量測只需數秒
• 現場處理（on-the-spot processing），支援高吞吐量

Quantified｜量化

• 以數位化結果呈現污染程度
• 直接輸出粒子數量 / 位置 / 尺寸

Easy to Operate｜易操作

• 操作流程不受人員差異影響
• 產線操作員可用於製程中qualification
• 研發/品保可用於analysis / monitoring / quick verification / SPC

Accurate｜精準

• 可靠量測粒子：Count / Location / Size
• 支援尺寸量測精度與重複性要求

Consistent｜一致

• 重複量測結果可再現
• 長期一致性佳（可提供 GR&R 報告）

量測方式（Measurement Modes）
間接量測｜Sampler + Sampler Holder

• 適用於難以接近位置、或較粗糙表面
• 取樣過程不造成交叉污染
• 取樣片可置於潔淨夾具中運送、再量測與分析

直接量測｜2-inch Wafer Interface

• 搭配符合 SEMI 標準之 2 吋矽晶圓進行直接量測
• 亦可用於落塵（fallout）量測情境

適用場景（Typical Use Cases）

• 產線製程潔淨度監控（SPC / Trend）
• 製程節點/設備維護前後快速驗證（Quick verification）
• 品質工程與良率改善（污染來源定位）
• 研發測試與失效分析前置量測（R&D analysis）