Fastmicro Sampler 是一款用於表面粒子污染檢測的工具，透過「間接量測」方式，可量測粒子數量、尺寸與位置，最低可檢測至 0.5 µm 粒子。這種「膠帶提取（tape-lift）」取樣片可彈性應用於各種表面，包括難以接觸的位置或表面特別粗糙的區域，且不會留下任何可量測的殘留物。

• 一致性（Consistent）： 粒子去除效率高且穩定，> 90%
• 易操作（Easy to operate）： 搭配 Fastmicro Sampler Operator Tool，可達成不受操作人員影響的取樣
• 精準（Accurate）： 支援量測至最低檢出極限 0.5 µm 粒子
• 快速（Fast）： 表面取樣可在數秒內完成
• 潔淨（Clean）： 超潔淨取樣，不會留下任何顯著可量測殘留物