能力

 

可擴展的設計
MORPHEUS 半連續反應器系統專為大規模商業原子層沉積而設計。可針對幾乎任何應用程序或足跡進行配置和定制。只有 Forge Nano 才能使 PALD 變得如此簡單和可擴展。 
 

 

規格
 
溫度窗口:50 – 200 °C
液體化學品入口:2
 
 
佔地面積:20' L x 12' W x 16' H
容量:  200公斤/小時
基材處理:散裝袋或氣動裝載

 

可擴展的、直接的解決方案
 
化學:氧化物
應用: 電池材料
附加組件:粉末裝載/卸載處理、惰性裝載/卸載