Werner Lieb GmbH
SMIF 載入埠 LP200-SMIF R
型號:LP200-SMIF R
產品特色
> 適用於符合 SEMI E100 規範的 Reticle Pod
> 潔淨度達 ISO Class 1
> 符合 SEMI S2、S8、E100、E117 及 E19.4-0417 規範
> 德國製造
選配功能
> OHT 自動搬送套件，支援 SEMI E84
> RFID 讀取功能
> 適用於符合 SEMI E100 規範的 Reticle Pod
> 潔淨度達 ISO Class 1
> 符合 SEMI S2、S8、E100、E117 及 E19.4-0417 規範
> 德國製造
選配功能
> OHT 自動搬送套件，支援 SEMI E84
> RFID 讀取功能
技術規格
尺寸
